보유기술현황

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  원문  초록

  기판을 보유하는 척 및 방법

  기판보유척 상에는 웨이퍼의 일면에 가스를 분사하여 웨이퍼를 기판보유척으로부터 부상시키는 적어도 하나의 가스분사구와, 분사된 상기 가스의 일부를 흡입하여 기판이 상기 기판보유척으로부터 이탈하는 것을 방지하는 적어도 하나의 가스흡입구를 포함한다. 가스분사구는 가스흡입구의 둘레에 복수개 형성된다. 기판은 가스분사구로부터 공급되는 가스압력에 의하여 기판보유척으로부터 부상하며, 가스흡입구를 통하여 공급된 가스를 배출하여 기판이 기판보유척으로터 이탈하는 것을 방지한다. 또한, 기판보유척의 상면에는 스토퍼가 제공되며, 스토퍼는 기판보유척으로부터 부상한 기판이 측방향으로 이동하여 기판보유척으로부터 이탈하는 것을 방지한다. 기판보유척, 기판부상노즐, 가스분사구, 가스흡입구, 스토퍼,

  • 출원번호1020060110519
  • 출원일자20061109
  • 등록번호1008873090000
  • 등록일자20090227
  • 출원인호서대학교 산학협력단
  • 발명자김병삼

  초록

  기판보유척 상에는 웨이퍼의 일면에 가스를 분사하여 웨이퍼를 기판보유척으로부터 부상시키는 적어도 하나의 가스분사구와, 분사된 상기 가스의 일부를 흡입하여 기판이 상기 기판보유척으로부터 이탈하는 것을 방지하는 적어도 하나의 가스흡입구를 포함한다. 가스분사구는 가스흡입구의 둘레에 복수개 형성된다. 기판은 가스분사구로부터 공급되는 가스압력에 의하여 기판보유척으로부터 부상하며, 가스흡입구를 통하여 공급된 가스를 배출하여 기판이 기판보유척으로터 이탈하는 것을 방지한다. 또한, 기판보유척의 상면에는 스토퍼가 제공되며, 스토퍼는 기판보유척으로부터 부상한 기판이 측방향으로 이동하여 기판보유척으로부터 이탈하는 것을 방지한다. 기판보유척, 기판부상노즐, 가스분사구, 가스흡입구, 스토퍼,

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  원문  초록

  베타인성분을 함유하는 기능성 발효장류

  본 발명은 동맥경화 및 고혈압 예방 또는 간기능보호 기능을 가지는 베타인성분을 함유하는 기능성 발효장류에 관한 것이다. 본 발명의 기능성 발효장류는 전통 발효장류 제조시, 베타인함유 성분 3 내지 15 중량%를 첨가하여 숙성발효시켜 제조되며, 베타인성분을 함유하는 원료로서, 구기자를 첨가하여 제조된 고추장은 장시간 저장조건하에서도 베타인성분이 잔존함으로써, 동맥경화 및 고혈압 예방 또는 간기능보호 기능성이 부여될 뿐 아니라, 일반 찹쌀고추장에 비하여 색도 저하없이, 맛, 향미 등의 전체선호도를 개선시킬 수 있다. 발효장류, 베타인, 동맥경화, 고혈압, 간기능, 고추장

  • 출원번호1020060088734
  • 출원일자20060913
  • 등록번호
  • 등록일자
  • 출원인호서대학교 산학협력단
  • 발명자강명화

  초록

  본 발명은 동맥경화 및 고혈압 예방 또는 간기능보호 기능을 가지는 베타인성분을 함유하는 기능성 발효장류에 관한 것이다. 본 발명의 기능성 발효장류는 전통 발효장류 제조시, 베타인함유 성분 3 내지 15 중량%를 첨가하여 숙성발효시켜 제조되며, 베타인성분을 함유하는 원료로서, 구기자를 첨가하여 제조된 고추장은 장시간 저장조건하에서도 베타인성분이 잔존함으로써, 동맥경화 및 고혈압 예방 또는 간기능보호 기능성이 부여될 뿐 아니라, 일반 찹쌀고추장에 비하여 색도 저하없이, 맛, 향미 등의 전체선호도를 개선시킬 수 있다. 발효장류, 베타인, 동맥경화, 고혈압, 간기능, 고추장

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  원문  초록

  애드혹 망에서 소규모 망 구성 시 서버 설정방법

  본 발명은, 애드혹 망(ad-hoc network) 환경에서 인근에 있는 노드들 간에 소규모 이동 무선망 구성 시, 소규모 이동 무선망의 구조를 동일 권리를 갖는 노드로 구성된 망과 계층적 구조를 갖는 노드로 구성된 망으로 나누어, 각 망의 구성에 따라 임의의 노드를 필요로 되는 서버로 설정하고, 그 서버가 망에서 누락 되었을 때 망의 재구성을 위해 서버를 재설정하며, 소규모 망에 속한 노드들이 서버의 자료를 시스템의 메인 서버로 업데이트 하거나 시스템의 메인 서버로부터 새로운 정보를 다운 받을 수 있도록 된 애드혹 망에서 소규모 망 구성 시 서버 설정방법에 관한 것이다. 본 발명은, 애드혹(ad-hoc) 무선 통신망에서 임의의 복수개의 노드가 동일 권리를 갖는 노드로 구성된 소규모 망을 구성할 경우나 임의의 복수개의 노드가 계층 구조로 소규모 망을 구성하는 경우의 서버 설정방법에 있어서, AP(또는, 기지국)로부터 가장 적은 홉(hop) 수의 거리에 떨어져 있는 노드 중에서 가장 최근에 AP(또는, 기지국)와 통신을 수행한 임의의 하나의 노드에 대해서만 AP(또는, 기지국)로부터 서버 프로그램이 전송되어 초기의 서버로 설정하여 소규모 망을 구성 및 관리하도록 된 것을 특징으로 한다.

  • 출원번호1020060082341
  • 출원일자20060829
  • 등록번호1007550950000
  • 등록일자20070828
  • 출원인호서대학교 산학협력단
  • 발명자고학림, 고정길

  초록

  본 발명은, 애드혹 망(ad-hoc network) 환경에서 인근에 있는 노드들 간에 소규모 이동 무선망 구성 시, 소규모 이동 무선망의 구조를 동일 권리를 갖는 노드로 구성된 망과 계층적 구조를 갖는 노드로 구성된 망으로 나누어, 각 망의 구성에 따라 임의의 노드를 필요로 되는 서버로 설정하고, 그 서버가 망에서 누락 되었을 때 망의 재구성을 위해 서버를 재설정하며, 소규모 망에 속한 노드들이 서버의 자료를 시스템의 메인 서버로 업데이트 하거나 시스템의 메인 서버로부터 새로운 정보를 다운 받을 수 있도록 된 애드혹 망에서 소규모 망 구성 시 서버 설정방법에 관한 것이다. 본 발명은, 애드혹(ad-hoc) 무선 통신망에서 임의의 복수개의 노드가 동일 권리를 갖는 노드로 구성된 소규모 망을 구성할 경우나 임의의 복수개의 노드가 계층 구조로 소규모 망을 구성하는 경우의 서버 설정방법에 있어서, AP(또는, 기지국)로부터 가장 적은 홉(hop) 수의 거리에 떨어져 있는 노드 중에서 가장 최근에 AP(또는, 기지국)와 통신을 수행한 임의의 하나의 노드에 대해서만 AP(또는, 기지국)로부터 서버 프로그램이 전송되어 초기의 서버로 설정하여 소규모 망을 구성 및 관리하도록 된 것을 특징으로 한다.

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  원문  초록

  길이와 폭 조절이 가능한 소형 트레일러

  본 발명에 의한 트레일러는 밑판과 상기 밑판에서 상향 연장하는 측판을 포함하는 제1 수용부와, 상기 제1 수용부의 측판을 따라서 이동하는 측부와, 상기 측부 사이에 제공되며 상기 제1 수용부의 밑판의 상부 또는 하부에서 제1 수용부의 밑판을 따라서 이동 가능하게 제공되는 바닥부를 포함하는 제2 수용부를 포함한다. 상기 제1 수용부의 측판에는 상기 제2 수용부의 측부를 안내하는 안내 레일이 제공된다. 트레일러, 길이 조절, 폭 조절

  • 출원번호1020060075791
  • 출원일자20060810
  • 등록번호
  • 등록일자
  • 출원인호서대학교 산학협력단
  • 발명자김병삼 , 권용대

  초록

  본 발명에 의한 트레일러는 밑판과 상기 밑판에서 상향 연장하는 측판을 포함하는 제1 수용부와, 상기 제1 수용부의 측판을 따라서 이동하는 측부와, 상기 측부 사이에 제공되며 상기 제1 수용부의 밑판의 상부 또는 하부에서 제1 수용부의 밑판을 따라서 이동 가능하게 제공되는 바닥부를 포함하는 제2 수용부를 포함한다. 상기 제1 수용부의 측판에는 상기 제2 수용부의 측부를 안내하는 안내 레일이 제공된다. 트레일러, 길이 조절, 폭 조절

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  원문  초록

  이동식 가스 누출 탐지 장치

  본 발명에 의한, 가스 누출 탐지 장치는 상기 가스관을 따라 이동하는 이동 수단과, 상기 이동 수단을 구동하는 구동 수단과, 가스 누출을 감지하는 가스 누출 감지 센서와, 상기 가스 누출 탐지 장치가 기울어지는 것을 감지하는 기울임 감지 센서와, 상기 구동 수단을 제어하는 제어부를 포함한다. 그리고 상기 제어부는, 상기 기울임 감지 센서가 가스 누출 탐지 센서가 기울어진 것으로 감지하면 상기 기울어진 쪽의 이동 수단의 속도를 증대시키거나 반대쪽 속도를 감소시켜 자세를 정상으로 회복시킨다. 이러한 가스 누출 탐지 장치에 의하면, 가스관을 따라서 이동하면서 가스 누출을 감지할 수 있으며, 이동 도중에 가스 누출 탐지 장치가 기울어지더라도 기울어진 쪽의 이동 수단의 속도를 높임으로써 이를 바로 잡을 수 있게 된다. 가스 누출 탐지, 기울임 센서

  • 출원번호1020060075241
  • 출원일자20060809
  • 등록번호1008667620000
  • 등록일자20081028
  • 출원인호서대학교 산학협력단
  • 발명자류근호, 김성구

  초록

  본 발명에 의한, 가스 누출 탐지 장치는 상기 가스관을 따라 이동하는 이동 수단과, 상기 이동 수단을 구동하는 구동 수단과, 가스 누출을 감지하는 가스 누출 감지 센서와, 상기 가스 누출 탐지 장치가 기울어지는 것을 감지하는 기울임 감지 센서와, 상기 구동 수단을 제어하는 제어부를 포함한다. 그리고 상기 제어부는, 상기 기울임 감지 센서가 가스 누출 탐지 센서가 기울어진 것으로 감지하면 상기 기울어진 쪽의 이동 수단의 속도를 증대시키거나 반대쪽 속도를 감소시켜 자세를 정상으로 회복시킨다. 이러한 가스 누출 탐지 장치에 의하면, 가스관을 따라서 이동하면서 가스 누출을 감지할 수 있으며, 이동 도중에 가스 누출 탐지 장치가 기울어지더라도 기울어진 쪽의 이동 수단의 속도를 높임으로써 이를 바로 잡을 수 있게 된다. 가스 누출 탐지, 기울임 센서

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  원문  초록

  전자파 차폐용 코팅제 조성물

  본 발명은 전자파 차폐용 코팅제 조성물에 관한 것으로, 폐전자스크랩(scrap)의 동박(銅箔)으로부터 회수된 구리미분말 15~45 중량% 와 폐리튬이온전지로부터 회수된 것으로써 탄소분말이 포함된 코발트 금속산화물 분말 15~5 중량% 및 유기바인더(organic binder) 70~50 중량%를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이러한 본 발명은 유기바인더에 적용되는 전도성 충진재로써 구리미분말과 코발트 금속산화물 분말을 사용하는 것이고, 특히 이러한 것들은 폐전자스크랩이나 폐리튬이온전지로부터 회수된 것임을 특징으로 한다. 이러한 본 발명은 단순처리나 폐기처리되고 있는 전자스크랩들을 재활용할 수 있는 것과 더불어서, 종래의 전자파 차폐용 코팅제 조성물보다 내열특성이 우수하고 차폐효율이 뛰어난 효과를 가지고 있다. 전자파, 차폐, 유기바인더

  • 출원번호1020060072274
  • 출원일자20060731
  • 등록번호1007376340000
  • 등록일자20070703
  • 출원인호서대학교 산학협력단
  • 발명자정기창 , 이정주 , 송종혁 , 김윤도

  초록

  본 발명은 전자파 차폐용 코팅제 조성물에 관한 것으로, 폐전자스크랩(scrap)의 동박(銅箔)으로부터 회수된 구리미분말 15~45 중량% 와 폐리튬이온전지로부터 회수된 것으로써 탄소분말이 포함된 코발트 금속산화물 분말 15~5 중량% 및 유기바인더(organic binder) 70~50 중량%를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이러한 본 발명은 유기바인더에 적용되는 전도성 충진재로써 구리미분말과 코발트 금속산화물 분말을 사용하는 것이고, 특히 이러한 것들은 폐전자스크랩이나 폐리튬이온전지로부터 회수된 것임을 특징으로 한다. 이러한 본 발명은 단순처리나 폐기처리되고 있는 전자스크랩들을 재활용할 수 있는 것과 더불어서, 종래의 전자파 차폐용 코팅제 조성물보다 내열특성이 우수하고 차폐효율이 뛰어난 효과를 가지고 있다. 전자파, 차폐, 유기바인더

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  원문  초록

  비대칭 에스 커브를 이용한 모터 제어 방법

  본 발명에 의한 모터 제어 방법은, (1) 제1 구간에 걸쳐 상기 모터를 가속하는 단계와, (2) 상기 제1 구간에 연속하여 이어지는 제2 구간에 걸쳐서 상기 모터를 등속 제어하는 단계와, (3) 상기 제2 구간에 연속하여 이어지는 제3 구간에 걸쳐서 상기 모터를 감속하여 모터의 최종 속도를 0에 이르게 하는 감속 단계를 포함한다. 그리고 상기 제3 구간의 시간이 제1 구간보다 더 길게 되어 있다. 모터 제어, S-커브, 비대칭, 잔류 진동

  • 출원번호1020060071109
  • 출원일자20060728
  • 등록번호1008196540000
  • 등록일자20080328
  • 출원인호서대학교 산학협력단
  • 발명자류근호

  초록

  본 발명에 의한 모터 제어 방법은, (1) 제1 구간에 걸쳐 상기 모터를 가속하는 단계와, (2) 상기 제1 구간에 연속하여 이어지는 제2 구간에 걸쳐서 상기 모터를 등속 제어하는 단계와, (3) 상기 제2 구간에 연속하여 이어지는 제3 구간에 걸쳐서 상기 모터를 감속하여 모터의 최종 속도를 0에 이르게 하는 감속 단계를 포함한다. 그리고 상기 제3 구간의 시간이 제1 구간보다 더 길게 되어 있다. 모터 제어, S-커브, 비대칭, 잔류 진동

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  원문  초록

  황색 발광 화합물 및 그를 포함하는 유기 전계 발광 소자

  본 발명은 유기 전계 디스플레이에 사용되는 유기 전계 발광 소자에 사용할 경우 황색 파장의 빛을 얻을 수 있을 뿐만 아니라 형광 효율을 높일 수 있는 황색 발광 화합물에 관한 것으로서, 본 발명에서는 하기 화학식 1로 표현되는 것을 특징으로 하는 황색 발광 화합물과, 하기 화학식 1로 표현되는 황색발광 화합물을 포함하는 유기전계 발광소자를 제공한다. <화학식 1> 상기 화학식 1에서 n은 2∼20 의 정수이다.

  • 출원번호1020060071474
  • 출원일자20060728
  • 등록번호1008570100000
  • 등록일자20080829
  • 출원인호서대학교 산학협력단
  • 발명자임대우, 김시석, 전학림

  초록

  본 발명은 유기 전계 디스플레이에 사용되는 유기 전계 발광 소자에 사용할 경우 황색 파장의 빛을 얻을 수 있을 뿐만 아니라 형광 효율을 높일 수 있는 황색 발광 화합물에 관한 것으로서, 본 발명에서는 하기 화학식 1로 표현되는 것을 특징으로 하는 황색 발광 화합물과, 하기 화학식 1로 표현되는 황색발광 화합물을 포함하는 유기전계 발광소자를 제공한다. <화학식 1> 상기 화학식 1에서 n은 2∼20 의 정수이다.

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  원문  초록

  카메라 하우징

  본 발명은 카메라를 내장하기 위한 카메라 하우징에 관한 것으로 특히, 카메라 하우징을 구성하는 상, 하부하우징의 표면에 비 전도코팅을 하고, 상기 하우징의 측면부에 다수개로 돌출되는 방열판을 형성시켜, 내부에서 발생되는 열을 쉽게 분산시키되, 외부의 온도 및 수분 등의 환경변화에도 강한 내구성을 가지도록 한 카메라 하우징을 제공하고자 한다. 따라서 본 발명은, 겨울철에 주변이 추운 환경에서도 그 내부에 비치한 라인히터를 작동시킴으로 카메라 촬영을 위한 적정한 온도를 유지할 수 있으며, 하우징의 측부에 형성시킨 방열판을 통해 내부의 온도를 용이하게 발산시킬 수 있어 온도에 따른 적응능력이 뛰어나다. 또한 본 발명은 그 하우징의 표면에 비전도코팅을 수행하여 흐르는 전류를 통해 발생될 수 있는 간섭현상을 미연에 방지하여 촬영의 질적 고도화를 추구한 발명이다. 상부하우징, 레일, 방열판, 라인히터, 하부하우징, 윈도우 등

  • 출원번호1020060071110
  • 출원일자20060728
  • 등록번호1008038310000
  • 등록일자20080205
  • 출원인호서대학교 산학협력단
  • 발명자김성근, 우일영, 안태길, 강기준, 김병삼

  초록

  본 발명은 카메라를 내장하기 위한 카메라 하우징에 관한 것으로 특히, 카메라 하우징을 구성하는 상, 하부하우징의 표면에 비 전도코팅을 하고, 상기 하우징의 측면부에 다수개로 돌출되는 방열판을 형성시켜, 내부에서 발생되는 열을 쉽게 분산시키되, 외부의 온도 및 수분 등의 환경변화에도 강한 내구성을 가지도록 한 카메라 하우징을 제공하고자 한다. 따라서 본 발명은, 겨울철에 주변이 추운 환경에서도 그 내부에 비치한 라인히터를 작동시킴으로 카메라 촬영을 위한 적정한 온도를 유지할 수 있으며, 하우징의 측부에 형성시킨 방열판을 통해 내부의 온도를 용이하게 발산시킬 수 있어 온도에 따른 적응능력이 뛰어나다. 또한 본 발명은 그 하우징의 표면에 비전도코팅을 수행하여 흐르는 전류를 통해 발생될 수 있는 간섭현상을 미연에 방지하여 촬영의 질적 고도화를 추구한 발명이다. 상부하우징, 레일, 방열판, 라인히터, 하부하우징, 윈도우 등

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  원문  초록

  플라즈마 디스플레이 패널의 전면 기판

  본 발명은 BUS전극인 제2전극에 보조전극을 설치하여, ITO전극인 제1전극의 면적을 100%를 모두 휘도에 기여할 수 있도록 하여 콘트라스트를 높이고, 발광효율 크게 향상시킬 수 있는 효과를 제공하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판에 관한 것이다. 본 발명은 전면 유리기판과, 이 전면 유리기판 상에 서로 평행하게 형성된 다수의 주사전극과, 각각 전면 유리기판 상에 서로 평행하게 형성되고, 다수의 주사전극과의 사이에서 방전이 이루어지도록 대향하여 형성되는 다수의 유지전극으로 이루어지며, 다수의 주사전극과 다수의 유지전극은 각각 양 단부 사이에 충진된 방전가스에 플라즈마 방전을 일으키며 투명한 도전성 재질로 이루어진 제1전극과, 제1전극의 재료보다 상대적으로 비저항이 작은 재료로 이루어지고, 제1전극에 인접하여 평행하게 형성되며 각 셀마다 제1전극과 전기적으로 연결되도록 다수의 보조전극이 연장 형성된 제2전극으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면 기판을 제공한다. 플라즈마 디스플레이 패널, BUS전극, ITO전극, 전면기판

  • 출원번호1020060070110
  • 출원일자20060726
  • 등록번호1008747620000
  • 등록일자20081211
  • 출원인주식회사 싸이노스|호서대학교 산학협력단
  • 발명자문철희

  초록

  본 발명은 BUS전극인 제2전극에 보조전극을 설치하여, ITO전극인 제1전극의 면적을 100%를 모두 휘도에 기여할 수 있도록 하여 콘트라스트를 높이고, 발광효율 크게 향상시킬 수 있는 효과를 제공하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판에 관한 것이다. 본 발명은 전면 유리기판과, 이 전면 유리기판 상에 서로 평행하게 형성된 다수의 주사전극과, 각각 전면 유리기판 상에 서로 평행하게 형성되고, 다수의 주사전극과의 사이에서 방전이 이루어지도록 대향하여 형성되는 다수의 유지전극으로 이루어지며, 다수의 주사전극과 다수의 유지전극은 각각 양 단부 사이에 충진된 방전가스에 플라즈마 방전을 일으키며 투명한 도전성 재질로 이루어진 제1전극과, 제1전극의 재료보다 상대적으로 비저항이 작은 재료로 이루어지고, 제1전극에 인접하여 평행하게 형성되며 각 셀마다 제1전극과 전기적으로 연결되도록 다수의 보조전극이 연장 형성된 제2전극으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면 기판을 제공한다. 플라즈마 디스플레이 패널, BUS전극, ITO전극, 전면기판

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  원문  초록

  액정화면의 광 반사율 측정시스템 및 방법

  본 발명은 액정화면의 광반사율을 측정하는 시스템 및 방법에 관한 것으로, 암실내부에 빛을 고루 분포하기 위해 광원의 빛이 광투과부재를 통과하여 방사되도록 광원부가 설치되고, 하우징에 고정된 제1슬라이딩부재에 대해 이동가능하게 제2슬라이딩부재가 설치되며, 이 제2슬라이딩부재에 이동가능하게 장착되면서 회전부재 및 다수의 실린더에 의해 롤, 피치, 요 운동이 가능한 계측기가 하측에 위치된 액정화면의 반사광을 측정하도록 이루어진다. 이로 인해, 광원의 빛이 광투과부재를 통과하여 방사됨으로써 종래의 특정 조사각이 배제되면서 고르게 분포될 수 있고, 상기 계측기의 위치 및 촬영 각도가 하향 전방위로 조정 가능하여 화면액정의 어느 측정점에서 반사된 빛이 계측기에 의해 최대로 측정되어 대량의 데이터가 획득되면서 정확한 결과치가 출력될 수 있도록 된 것이다. 액정화면, LCD, 광반사율, 반사광

  • 출원번호1020060064599
  • 출원일자20060710
  • 등록번호1007362450000
  • 등록일자20070629
  • 출원인호서대학교 산학협력단
  • 발명자차국찬

  초록

  본 발명은 액정화면의 광반사율을 측정하는 시스템 및 방법에 관한 것으로, 암실내부에 빛을 고루 분포하기 위해 광원의 빛이 광투과부재를 통과하여 방사되도록 광원부가 설치되고, 하우징에 고정된 제1슬라이딩부재에 대해 이동가능하게 제2슬라이딩부재가 설치되며, 이 제2슬라이딩부재에 이동가능하게 장착되면서 회전부재 및 다수의 실린더에 의해 롤, 피치, 요 운동이 가능한 계측기가 하측에 위치된 액정화면의 반사광을 측정하도록 이루어진다. 이로 인해, 광원의 빛이 광투과부재를 통과하여 방사됨으로써 종래의 특정 조사각이 배제되면서 고르게 분포될 수 있고, 상기 계측기의 위치 및 촬영 각도가 하향 전방위로 조정 가능하여 화면액정의 어느 측정점에서 반사된 빛이 계측기에 의해 최대로 측정되어 대량의 데이터가 획득되면서 정확한 결과치가 출력될 수 있도록 된 것이다. 액정화면, LCD, 광반사율, 반사광

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  원문  초록

  영상을 이용한 조명 제어 방법

  본 발명은 영상을 이용한 조명 제어 방법에 관한 것으로, 특히 검사 시료의 결함 검사대에 광원으로부터 조사되는 광량을 촬상하여 촬상된 영상의 밝기를 분석하여 결함 검사대의 검사 시료에 조사되는 조명을 일정하게 제어하는 방법에 관한 것이다. 이를 위하여, 본 발명의 영상을 이용한 조명 제어 방법은 검사 시료의 영상을 획득하는 단계; 획득된 영상의 평균밝기값을 검출하는 단계; 상기 검출된 평균밝기값과 기준밝기값을 비교하는 단계; 및 상기 비교결과 상기 평균밝기값과 기준밝기값의 오차에 해당하는 만큼 조명컨트롤러를 통해 상기 광원을 제어하는 단계를 포함한다. 이로써 광량을 실제로 측정하거나 광량의 피드백에 의한 종래의 조명 제어 방법보다 영상의 밝기를 검출하므로 효율적으로 조명을 컨트롤할 수 있다.

  • 출원번호1020060063475
  • 출원일자20060706
  • 등록번호1007735840000
  • 등록일자20071030
  • 출원인호서대학교 산학협력단|신비앤텍 주식회사
  • 발명자김준식, 주효남, 김기순

  초록

  본 발명은 영상을 이용한 조명 제어 방법에 관한 것으로, 특히 검사 시료의 결함 검사대에 광원으로부터 조사되는 광량을 촬상하여 촬상된 영상의 밝기를 분석하여 결함 검사대의 검사 시료에 조사되는 조명을 일정하게 제어하는 방법에 관한 것이다. 이를 위하여, 본 발명의 영상을 이용한 조명 제어 방법은 검사 시료의 영상을 획득하는 단계; 획득된 영상의 평균밝기값을 검출하는 단계; 상기 검출된 평균밝기값과 기준밝기값을 비교하는 단계; 및 상기 비교결과 상기 평균밝기값과 기준밝기값의 오차에 해당하는 만큼 조명컨트롤러를 통해 상기 광원을 제어하는 단계를 포함한다. 이로써 광량을 실제로 측정하거나 광량의 피드백에 의한 종래의 조명 제어 방법보다 영상의 밝기를 검출하므로 효율적으로 조명을 컨트롤할 수 있다.

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  원문  초록

  구간정보를 이용한 멀티미디어 콘텐츠의 스트리밍 방법 및그 스트리밍 단말기

  구간정보를 이용한 멀티미디어 콘텐츠의 스트리밍(Streaming) 방법 및 그 스트리밍 단말기가 개시된다. 본 발명에 따르면, 스트리밍을 받는 스트리밍 클라이언트(Client)는 한 개 멀티미디어 파일 중 사용자가 원하는 구간만을 소정의 구간정보를 이용하여 선택적으로 서버(Server)로부터 스트리밍(Streaming)받을 수 있다. 반대로 스트리밍 서버도, 구간정보를 이용한 클라이언트의 스트리밍 요청에 대해, 자신이 보유한 멀티미디어 파일의 특정 구간만을 선택적으로 스트리밍 할 수 있다. 이에 따라 다수의 사용자와 접속될 수 있는 통신환경에서 서버의 역할을 수행하는 단말기는 스트리밍에 따른 통신 자원의 부담을 줄일 수 있으며, 클라이언트 단말기는 원하는 구간만을 스트리밍 받을 수 있다. 스트리밍, 서버, 클라이언트, 구간정보, P2P

  • 출원번호1020060063638
  • 출원일자20060706
  • 등록번호1008355280000
  • 등록일자20080529
  • 출원인호서대학교 산학협력단
  • 발명자한광록

  초록

  구간정보를 이용한 멀티미디어 콘텐츠의 스트리밍(Streaming) 방법 및 그 스트리밍 단말기가 개시된다. 본 발명에 따르면, 스트리밍을 받는 스트리밍 클라이언트(Client)는 한 개 멀티미디어 파일 중 사용자가 원하는 구간만을 소정의 구간정보를 이용하여 선택적으로 서버(Server)로부터 스트리밍(Streaming)받을 수 있다. 반대로 스트리밍 서버도, 구간정보를 이용한 클라이언트의 스트리밍 요청에 대해, 자신이 보유한 멀티미디어 파일의 특정 구간만을 선택적으로 스트리밍 할 수 있다. 이에 따라 다수의 사용자와 접속될 수 있는 통신환경에서 서버의 역할을 수행하는 단말기는 스트리밍에 따른 통신 자원의 부담을 줄일 수 있으며, 클라이언트 단말기는 원하는 구간만을 스트리밍 받을 수 있다. 스트리밍, 서버, 클라이언트, 구간정보, P2P

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  원문  초록

  반도체/디스플레이 제조장비의 RF 플라즈마 임피던스검출기

  본 발명은 반도체/디스플레이 제조장비의 반사전력 검출기에 관한 것으로, 반도체/디스플레이 제조장비에 플라즈마 발생을 위한 RF임피던스정합기를 정확하게 제어하도록 반사전력의 위상 및 크기를 검출할 수 있는 반도체/디스플레이 제조장비의 RF 플라즈마 임피던스 검출기에 관한 것이다. 본 발명은 RF전원발생기(2)와 챔버(6)의 사이에 연결되어, 상기 전원발생기(2)에서 공급되는 RF전원을 정합하여 정합된 임피던스를 챔버(6)에 공급하는 RF임피던스정합기(1)의 내부에 구비되는 RF검출기(10)에 있어서, 상기 RF검출기(10)는 RC회로를 통해 상기 RF전원발생기(2)에서 공급되는 RF전원의 반사전력을 복조하고 특정주파수 영역을 선별하여 위상을 검파하는 위상검파부(11)와; 상기 RF전원과 상기 챔버(6)로부터 반사되는 반사전력을 추출하는 검출부(13)와; RC회로를 통해 상기 RF전원발생기(2)에서 공급되는 RF전원의 반사전력을 복조하고 특정레벨영역을 선별하여 크기를 검파하는 크기검파부(15)와; 상기 위상검파부(11)에서 검파된 위상신호를 필터링하여 기준위상신호를 출력하는 위상오차검출부(17)와; 상기 크기검파부(15)에서 검파된 크기신호를 필터링하여 기준크기신호를 출력하는 크기오차검출부(19)를 포함한다. 본 발명에 의하면, RF전원의 위상 및 크기를 검출하여 복잡한 회로구성에 의해 발생되는 노...(이하생략)

  • 출원번호1020060062360
  • 출원일자20060704
  • 등록번호1007502030000
  • 등록일자20070810
  • 출원인호서대학교 산학협력단
  • 발명자설용태, 이의용, 박성진, 김좌연

  초록

  본 발명은 반도체/디스플레이 제조장비의 반사전력 검출기에 관한 것으로, 반도체/디스플레이 제조장비에 플라즈마 발생을 위한 RF임피던스정합기를 정확하게 제어하도록 반사전력의 위상 및 크기를 검출할 수 있는 반도체/디스플레이 제조장비의 RF 플라즈마 임피던스 검출기에 관한 것이다. 본 발명은 RF전원발생기(2)와 챔버(6)의 사이에 연결되어, 상기 전원발생기(2)에서 공급되는 RF전원을 정합하여 정합된 임피던스를 챔버(6)에 공급하는 RF임피던스정합기(1)의 내부에 구비되는 RF검출기(10)에 있어서, 상기 RF검출기(10)는 RC회로를 통해 상기 RF전원발생기(2)에서 공급되는 RF전원의 반사전력을 복조하고 특정주파수 영역을 선별하여 위상을 검파하는 위상검파부(11)와; 상기 RF전원과 상기 챔버(6)로부터 반사되는 반사전력을 추출하는 검출부(13)와; RC회로를 통해 상기 RF전원발생기(2)에서 공급되는 RF전원의 반사전력을 복조하고 특정레벨영역을 선별하여 크기를 검파하는 크기검파부(15)와; 상기 위상검파부(11)에서 검파된 위상신호를 필터링하여 기준위상신호를 출력하는 위상오차검출부(17)와; 상기 크기검파부(15)에서 검파된 크기신호를 필터링하여 기준크기신호를 출력하는 크기오차검출부(19)를 포함한다. 본 발명에 의하면, RF전원의 위상 및 크기를 검출하여 복잡한 회로구성에 의해 발생되는 노...(이하생략)

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  원문  초록

  비접촉식 웨이퍼 지지장치

  본 발명은 웨이퍼 지지장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼와 접촉하지 않은 상태에서 공기압에 의해 지지하며 웨이퍼의 변형을 최소화할 수 있는 지지장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 비접촉식 웨이퍼 지지장치는, 윗면이 밑면보다 큰 직경을 가진 원뿔대 형상이고, 윗면에 링 형상의 돌출부와 요입부가 반경방향을 따라 교번하여 형성되며, 각각의 돌출부 및 요입부로부터 밑면까지 관통하여 공기유로가 형성된 제1부재와, 속이 빈 원뿔대 형상이고, 내면이 제1부재의 외면과 이격되도록 제1부재를 수용하여 제1부재와의 사이에 공기채널을 형성하며, 상단부가 제1부재보다 높이 돌출되고, 상단부의 내경이 웨이퍼의 직경보다 큰 제2부재와, 각 돌출부로부터 형성된 공기유로를 따라 제1부재의 윗면 방향으로 공기를 분사하는 제1 공기분사펌프와, 공기채널을 따라 제1부재의 윗면 방향으로 공기를 분사하는 제2 공기분사펌프와, 각 요입부에 형성된 공기유로를 따라 제1부재의 밑면 방향으로 공기를 흡입하는 공기흡입펌프를 포함하는 것을 특징으로 한다. 웨이퍼, 비접촉, 압력분포, 에어펌프.

  • 출원번호1020060060844
  • 출원일자20060630
  • 등록번호1007930060000
  • 등록일자20080102
  • 출원인호서대학교 산학협력단
  • 발명자김병삼, 김성근, 안태길, 강기준

  초록

  본 발명은 웨이퍼 지지장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼와 접촉하지 않은 상태에서 공기압에 의해 지지하며 웨이퍼의 변형을 최소화할 수 있는 지지장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 비접촉식 웨이퍼 지지장치는, 윗면이 밑면보다 큰 직경을 가진 원뿔대 형상이고, 윗면에 링 형상의 돌출부와 요입부가 반경방향을 따라 교번하여 형성되며, 각각의 돌출부 및 요입부로부터 밑면까지 관통하여 공기유로가 형성된 제1부재와, 속이 빈 원뿔대 형상이고, 내면이 제1부재의 외면과 이격되도록 제1부재를 수용하여 제1부재와의 사이에 공기채널을 형성하며, 상단부가 제1부재보다 높이 돌출되고, 상단부의 내경이 웨이퍼의 직경보다 큰 제2부재와, 각 돌출부로부터 형성된 공기유로를 따라 제1부재의 윗면 방향으로 공기를 분사하는 제1 공기분사펌프와, 공기채널을 따라 제1부재의 윗면 방향으로 공기를 분사하는 제2 공기분사펌프와, 각 요입부에 형성된 공기유로를 따라 제1부재의 밑면 방향으로 공기를 흡입하는 공기흡입펌프를 포함하는 것을 특징으로 한다. 웨이퍼, 비접촉, 압력분포, 에어펌프.